能量色散X射線熒光光譜技術的原理和優點分析
發布時間：2023-04-04
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能量色散X射線熒光光譜（EDXRF）是一種快速、無損、多元素同時測定的現代測試分析技術，已廣泛應用於材料科學、生物醫學、地質研究、環境監測、天體物理、文物考古等諸多領域。
能量色散X射線熒光光譜分析原理：
采用X射線作為樣品信號的激發源，其產生原級X射線照射到樣品上，所產生的特征X射線（熒光）直接進入固體探測器。 然後用多道分析器對整個熒光光譜的能量信息進行分析，通過探測元素特征X射線並識別其能量，來判別被測樣品中所含元素，即為X射線熒光光譜定性分析。
而具有某種能量的X射線強度的大小，與被測樣品中能發射該能量的熒光X射線的元素含量有直接關係，測量這些譜線的強度並處理計算，就可以得出元素含量。即為X射線熒光光譜定量分析。
采用X射線作為樣品信號的激發源，其產生原級X射線照射到樣品上，所產生的特征X射線（熒光）直接進入固體探測器。
而具有某種能量的X射線強度的大小，與被測樣品中能發射該能量的熒光X射線的元素含量有直接關係，測量這些譜線的強度並處理計算，就可以得出元素含量。即為X射線熒光光譜定量分析。
能量色散X射線熒光光譜具有如下優(you) 點：
①儀(yi) 器結構簡單，省略了晶體(ti) 的精密運動裝置，也無需精度調整。還避免了晶體(ti) 衍射所造成的強度損失。光源使用的X-射線管功率低，一般在100W以下，不需要昂貴的高壓發生器和冷卻係統，空氣冷卻即可，節省電力。
②能量色散型熒光光譜儀(yi) 的光源、樣品、檢測器彼此靠得很近，X-射線的利用率很高，不需要光學聚集，在累積整個(ge) 光譜時，對樣品位置變化不象波長色散型熒光光譜儀(yi) 那樣敏感，對樣品形狀也無特殊要求。
③在能量色散型熒光光譜儀(yi) 中，樣品發出的全部特征X-射線光子同時進入檢測器，這就奠定了使用多道分析器和熒光屏同時累積和顯示全部能譜(包括背景)的基礎，也能清楚地表明背景和幹擾線。因此，半導體(ti) 檢測器X-射線光譜儀(yi) 能比晶體(ti) X-射線光譜儀(yi) 快而方便地完成定性分析工作。
④能量色散法的一個(ge) 附帶優(you) 點是測量整個(ge) 分析線脈衝(chong) 高度分布的積分程度，而不是峰頂強度。因此，減小了化學狀態引起的分析線波長的漂移影響。由於(yu) 同時累積還減小了儀(yi) 器的漂移影響，提高淨計數的統計精度，可迅速而方便地用各種方法處理光譜。同時累積觀察和測量所有元素，而不是按特定譜線分析特定元素。因此，見笑了偶然錯誤判斷某元素的可能性。
